NEW PRODUCT【 開発中の新製品をご紹介いたします 】NMX-10M (混合器) 開発中■ 流体接触部:SUS316L ■ 流量範囲:10cc~10L/min ■ 各種プロセスガス対応 ■ 流体接触部:PFA ■ 各種薬液対応 Neo Magic+Vaporizer (気化器) 開発中■ 最大気化範囲:H2O 1g/min(TEOS 3g/min) ■ 最高設定温度:300℃ ■ 流体接触部:SUS316L