Gas Control System（ガス制御システム）
【 ガス制御システム事業部が設計・開発・製造した製品群のご紹介 】
■ MOCVD装置用のガス制御システム
■ ヒーター付 IGSガスシステム
■ 液体供給ユニット / タッチパネルのフローダイヤグラム
■ IGSタイプを基本としたガスユニット
■ VCRタイプ継手を基本としたガスユニット
お客様のご要望を反映した開発・設計から製造までをお請いたしております。
■ IGSブロック、自社製品『Neo Magic+シリーズ』による加熱・冷却機能を
搭載したガス制御システムも対応しております。